EUV Litografi Nedir?
Aşırı ultraviyole litografi, kabaca% 2'lik bir FWHM bant genişliğini yaklaşık 13,5 nm'ye yayan, bir dizi aşırı ultraviyole dalga boyunu kullanan bir litografi teknolojisidir.
Çalışmalar Nasıl İlerliyor?
20 yıldan fazla yoğun bir ortak geliştirme çalışması gerektirdi, ancak Avrupalı şirketler ve araştırma enstitüleri nihayet güçlü mikroçiplerin toplu üretimi için devrim niteliğinde yeni bir üretim teknolojisini tanıttı . Sektörde çalışanlar tarafından buna EUV litografi deniyor.
EUV, aşırı ultraviyole anlamına gelir ve çok daha güçlü, enerji tasarruflu ve her zamankinden daha uygun fiyatlı mikroçipler üretmeyi mümkün kılar .
Yeni üretim süreci, şimdiye kadar 193 nanometre dalga boyuna sahip ışık kaynaklarıyla çalışan önde gelen optik litografi işlemlerine kıyasla yalnızca 13,5 nanometre ile çalışıyor . Yeterince etkileyici bir şekilde, EUV bir insan saçından 5.000 kat daha ince çip yapılarının piyasaya sürüldüğünü gördü .
Ama tam olarak çok yeni değil. Bu ileri teknolojiyi kullanan akıllı telefonlar 2019 sonbaharından beri piyasada. Peki nasıl geliştirildi?
Uzun Bir Geliştirme Süreci
ASML ve TRUMPF şirketleri bu proje için benzersiz bir ışık kaynağı tasarladı. Bu, ASML tarafından geliştirilen ve saniyede 50.000 damlacık kalayın bir vakum odasına ateşlendiği ve daha sonra TRUMPF tarafından geliştirilen yüksek güçlü bir CO2 lazerinden iki ardışık darbeyle vurulan bir plazma kaynağından oluşur .
"Bir atılım yenilik olarak, EUV teknoloji iş ve toplumda sayısallaştırma konusunda önemli ilerlemeler sağlamaya da sürdürür," Bir söz konusu basın açıklamasında yeni teknoloji Dr. Markus Weber, ZEISS Grubu (projede başka ortağı) Yürütme Kurulu üyesi ve başkanı ile ilgili Yarıiletken Üretim Teknolojisi segmenti.
EUV litografinin nasıl ortaya çıktığı hakkında daha fazla bilgi edinmek istiyorsanız ZEISS'ın sitesini ziyaret edin . Bu çalışma aynı zamanda ZEISS, TRUMPF ve üçüncü ortak Fraunhofer'a Deutscher Zukunftspreis 2020 ödülünü de kazandırmıştır.
"ZEISS, TRUMPF ve Fraunhofer IOF'den araştırmacıları mükemmel çalışmalarından ötürü bu büyük ödül için tebrik ediyoruz. EUV litografisinde, küresel olarak dijitalleşme itkisi sağlayacak bir teknoloji geliştirdiler ve böylelikle daha fazla inovasyonun temelini attılar.